针对 12 吋晶圆厂、化合物半导体、集成电路产业园、半导体配套厂房提供定制化洁净室解决方案。每一个方案都来自真实的项目实践。
每个方案都经历过真实项目的验证
12 吋晶圆制造工艺对洁净环境要求极高——光刻区需 ISO 3 级洁净度，温湿度需精确控制在 23°C ± 0.5°C/45% ± 3%。任何环境波动都可能导致晶圆报废，造成巨大经济损失。
洁净等级：ISO 3-5 级 | 温度控制：23°C ± 0.5°C | 湿度控制：45% ± 3% | 换气次数：≥ 600 次/小时
12 吋集成电路生产线洁净室工程（深圳）—— 核心生产区洁净室系统工程，ISO 5 级，一次性通过验收。
ISO 3 级能力化合物半导体（第三代半导体）制造过程涉及多种特殊工艺气体和化学品，对洁净室的排风系统、特殊气体供应系统有特殊要求。同时需要兼容不同尺寸产线的灵活布局。
洁净等级：ISO 5-6 级 | 排气分类：酸/碱/有机/一般 | 特殊气体：N₂/O₂/Ar/H₂ 等 | 洁淨室面积：约 5,000 ㎡
上海临港化合物半导体量产线（上海临港）—— 6/8 吋第三代半导体产线，设计+施工一体化服务，进行中。
进行中项目集成电路产业园通常包含多个生产车间和研发实验室，对园区级洁净室系统的统一规划、节能运行、智能化管理提出了较高要求。需要统筹不同区域的不同洁净等级需求。
洁净等级：ISO 5-8 级 | 园区规模：多栋厂房 | 智能化系统：BAS/BMS/EHS 三位一体
宁波镇海集成电路产业园（宁波）—— 电子厂房智能化工程，已交付使用。
已交付半导体配套厂房涵盖封装测试、材料制备、设备维护等环节，洁净室等级要求虽不如前道工序高（ISO 6-8 级），但对系统的整体可靠性、运行成本和维护便利性有较高要求。
洁净等级：ISO 6-8 级 | 动力系统：双路供电 + 公用工程 | 建设模式：模块化可扩展
洛阳半导体洁净室项目（洛阳）—— 洁净室配套工程，已交付，客户验收满意。
已交付不同半导体细分领域对洁净室等级的要求对比
| 行业领域 | 核心区等级 | 辅助区等级 | 温度要求 | 湿度要求 | 特殊需求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 12 吋晶圆制造 | ISO 3-4 级 | ISO 5-6 级 | 23°C ± 0.5°C | 45% ± 3% | 高精度温湿度控制 |
| 化合物半导体 | ISO 5 级 | ISO 6-7 级 | 23°C ± 1°C | 45% ± 5% | 特殊排气/气体系统 |
| 先进封装测试 | ISO 5-6 级 | ISO 7-8 级 | 23°C ± 2°C | 50% ± 10% | 高密度设备布局 |
| 半导体配套厂房 | ISO 6-7 级 | ISO 8 级 | 23°C ± 2°C | — | 公用工程集成 |
| 电子产业园 | ISO 5-6 级 | ISO 7-8 级 | 23°C ± 2°C | 50% ± 10% | 园区智能化系统 |